潔凈空間?凈化工程九大組成——無塵車間生產(chǎn)廠家
作者：無塵車間生產(chǎn)廠家 來源：無塵車間生產(chǎn)廠家 日期：2021/4/17 15:05:02 人氣：1541
潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。（風(fēng)淋室廠家）隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢(shì)。具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間溫度不宜超過25度，濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對(duì)濕度超過55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的越難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)濕度范圍為35—45%。?潔凈空間?凈化工程九大組成——無塵車間生產(chǎn)廠家小編來為大家娓娓道來：一： 圍護(hù)結(jié)構(gòu)系統(tǒng)：簡(jiǎn)單說是頂、墻、地三部分，即組成三維密閉空間的六個(gè)面。往細(xì)的說包括門窗、裝飾圓弧等二： 電氣系統(tǒng)： 照明、動(dòng)力、弱電三部分，包括凈化燈具、插座、電氣柜、線路、監(jiān)控、電話等強(qiáng)弱電系統(tǒng)；三： 風(fēng)管系統(tǒng)：包括送風(fēng)、回風(fēng)、新風(fēng)、排風(fēng)管道（凈化工程）、末端及控制裝置等；四： 空調(diào)系統(tǒng)：包括冷（熱）水機(jī)組（包括水泵、冷卻塔等）（或風(fēng)冷管道機(jī)級(jí)等），管路、組合式凈化空調(diào)箱（包括混流段、初效段、加熱/制冷段、除濕段、加壓段、中效段、靜壓段等）；五： 自控系統(tǒng)：包括溫度控制、溫度控制、風(fēng)量風(fēng)壓控制、開啟順序和時(shí)間控制等；六： 給排水系統(tǒng)：給水、排水管道、設(shè)施及控制裝置等；七： 空氣過濾系統(tǒng)：初中高效過濾器等;八： 潔凈地面：一般采用環(huán)氧樹脂潔凈地面。九： 其他凈化設(shè)備：如臭氧、紫外線燈、風(fēng)淋（包括貨淋）、傳遞窗、超凈工作臺(tái),互聯(lián)鎖等凈化輔助設(shè)備。我司服務(wù)： 不銹鋼風(fēng)淋室? http://www.bjtckd.com? 
